-
LWT
-
Forschung
-
Forschungsbereiche
-
PVD-Technologien
-
Ausstattung
Oerlikon METAPLAS.DOMINO kila flex
100 Hz bis 50 kHz Prozess- und Reaktivgase: Argon (Ar), Stickstoff (N 2 ), Acetylen (C 2 H 2 ), Sauerstoff (O 2 ), Wasserstoff (H 2 ) PACVD-Modul: Einbringung eines Präkursors für die Kombination von PVD [...] trockenverdichtende Schrauben-Vakuumpumpe 2 x magnetgelagerte Turbomolekularpumpen Schieberventile zwischen Kammer und Turbomolekularpumpen Arc-Verdampfer: 2 x vertikal angeordnete Arrays aus je 4 Ein [...] von ta-C Targetmaße für Arc-Verdampfer: Durchmesser: 100 mm Materialstärke: 15 mm Magnetron-Kathoden: 2 x Magnetron-Kathode mit folgenden Betriebsarten: dcMS/dcMS, dcMS/HiPIMS (HiPIMS unipolar), mfMS/dcMS …