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Elektronen-mikroskopie
Mikrosonde
lle Schottky-Feldemission Beschleunigungsspannung 1 bis 30 kV Probenstrom 1 pA bis 3 µA Strahlstromstabilität ±0,3% / h; ± 1,0% / 12 h Auflösung im SE-Bild 2,5 nm Vergrößerung x40 bis x300.000 Analysesystem [...] Wellenlängenbereich 0,087 bis 9,3 nm EDS-System Serienmäßig, vollständig hard- und software-integriert SXES-System Energiebereich – 50 eV bis 210 eV Höchste Auflösung – 0,3 eV Die Mikrosonde kann intern [...] identifizieren. Hier wird im Energiebereich von 50 eV – 210 eV mit einer sehr hohen Energieauflösung von 0,3 eV (zum Vergleich: WDX: 8 eV, EDX:130 eV) gearbeitet. Durch diese Kombination an Spektrometern können …