Versuchsfeld Vakuum
nde Schraubenspindelvakuumpumpen, eine Roots-Vakuumpumpe sowie ein Rezipient mit einem Volumen von 0,5 m². Des Weiteren stehen verschiedene Sensoren zur Erfassung des Druckes und des Massendurchsatzes [...] insgesamt sieben Durchflusssensoren bereit, welche einen auf Normbedingungen bezogenen Messbereich von 0,01 – 200 l/min erfassen können. Hochvakuumprüfstand Zur Erzeugung von Drücken im Bereich des Hochvakuums …