Einfluss von Biasspannung und Heizleistung auf TiSiBCN-Nanokomposite
ngen. Diese sollen die Verschleißbeständigkeit von TiCN, die chemische Stabilität und Härte von TiB₂ sowie die Oxidationsbeständigkeit von TiSiN vereinen und machen die Schichten zu potenziellen Kandidaten [...] n in der Aluminiumumformung. Die resultierenden Nanokomposite bestehen aus (Ti,C,N)B- und (Ti,C,N)B₂-Nanokristallen, eingebettet in eine amorphe Matrix, deren Anteile gezielt durch die Prozessparameter [...] ausgehend, erfolgte eine Variation der Biasspannung auf −150 V und −200 V und der Heizleistung auf 2 kW und 8 kW (T ≈ 240 °C und 440 °C). Die Ergebnisse verdeutlichen, dass die Wirkung von Biasspannung …
