Labor & Anlagen
, O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll funktionsfähig Oxford PlasmaLab 80Plus © LS MNE / TU Dortmund Typ: Reaktives Ionenätzen (RIE) Beschreibung: Fluorprozesse: SF 6 , O 2 , Ar, CHF 3 , N 2 Status: Voll [...] gestützte Sonderanfertigung Beschreibung: O 2 , N 2 , Ar, Cl 2 , SiCl 4 , H 2 , N 2 O, CF 4 , CHF 3 , SF 6 , NH 3 , SiH 4 /Ar, SiH 2 Cl 2 Status: Voll funktionsfähig Purita GmbH Reinstwasseranlage © LS MNE / [...] Thermische ALD bis 500°C, Glovebox, Picozone™ PZ-100 ozone generator, Precursor: TMA, TEMAHf, H2O, NH3 Status: Voll funktionsfähig Oxford PlasmaLab 80Plus © LS MNE / TU Dortmund Typ: Plasmaunterstützte …